真空机械手,真空机械手技术难点

摘要： 大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于真空机械手的问题，于是小编就整理了3个相关介绍真空机械手的解答，让我们一起看看吧。晶圆搬运机械手原理？真空吸盘压力表如何调节？机...

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于真空机械手的问题，于是小编就整理了3个相关介绍真空机械手的解答，让我们一起看看吧。

1. 晶圆搬运机械手原理？
2. 真空吸盘压力表如何调节？
3. 机械手主夹阀通主夹限断什么意思？

晶圆搬运机械手原理？

伯努利原理。

晶圆搬运机械手的原理是伯努利吸附原理。伯努利原理可以表述为：在水流或气流里，如果速度小，压强就大，如果速度大，压强就小。伯努利机械手的喷气口中喷出的气体遇到圆盘的表面后，气体自圆盘上表面迅速扩散，使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度，此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压，因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆，把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后，机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附，伯努利机械手吸附晶圆，把晶圆从真空卡盘上取下，并带出工艺腔室。

真空吸盘压力表如何调节？

1. 首先，将机械手上的真空压力表连接好。

2. 打开机械手的控制面板，将机械手移动到需要测试的位置。

3. 启动真空泵，让机械手吸取物品。此时，真空压力表上应该显示出真空压力值。

4. 如果真空压力值超出了允许范围，需要进行调试。可以通过调节真空泵的排气阀门来调节真空压力值，或者调节机械手上的真空吸盘的密封性来减小真空泄漏。

5. 调节完毕后，再次启动真空泵，让机械手吸取物品，观察真空压力表上的值是否符合要求。

6.如果需要多次调试，可以重复以上步骤，直到真空压力值符合要求。

7. 最后，关闭机械手和真空泵，并将机械手移动到安全位置。

真空吸盘压力表是用来检测真空吸盘的吸附压力的工具，其调节方法如下：

1.首先需要将真空吸盘与被吸附的工件连接好，并连接压力表。

2.打开真空泵的电源，将吸盘上的压力表连接好，然后等待泵的运转，直到压力表上的指示值达到吸盘所需的压力。

3.根据需要调节泵的抽气量大小，可以逐渐调节泵的开关量和速度，从而达到所需的压力。

4.通过观察压力表上的指示值，适时调节泵的工作量，保持吸盘上的压力保持在一个稳定的范围内。

调节方法如下所示：

1.先把真空压力表组装好,连接到真空源;

2.打开真空泵,检查压力表指针是否在低压范围内;

3.逐步提高真空压力,看看压力表指针是否改变;

4.拆开压力表,检查压力膜片、指针是否偏移;

5.将压力表重新安装,继续逐步调整真空压力,看看压力表指针是否改变;

6.完成调试后,把真空压力表连接到真空源。

机械手主夹阀通主夹限断什么意思？

机械手主夹阀是机械手的重要部件，主要负责控制机械手夹爪的开合。通主夹和限断是两种控制模式。通主夹是指当机械手主夹阀打开时，机械手夹爪可以自由开合。而限断是指当机械手主夹阀关闭时，机械手夹爪被限制在一定的位置，不能自由开合。这两种控制模式在不同的场景下使用，可以有效地调节机械手的工作。

例如，在夹取物品时，使用通主夹模式可以保证夹爪紧密地夹住物品，而在放置物品时，使用限断模式可以避免物品掉落。

机械手主夹阀通主夹限断是夹子夹不到产品或夹到产品没感应到产生的一个报警

。调一下夹子的感应灯，手动状态下不停的夹和夹放，同时上下移动夹子感应灯，在感应灯伴随夹子动作闪动很快的时候固定感应灯螺丝机械手真空阀通真空限断，首先要处理电路加时间继电器和电磁阀就可以解决通断的限制了。如果上面是真空吸的话，上面有个可调节的开关，根据需要的灵敏度来调节开关即可。

具体可咨询相关技术人员。

到此，以上就是小编对于真空机械手的问题就介绍到这了，希望介绍关于真空机械手的3点解答对大家有用。